マイクロ機械-フォトリソグラフィに関する初心者向けの完全ガイドです。用語解説と実際の使い方について、丁寧に説明します。
マイクロ機械-フォトリソグラフィは、微細構造を作成するための重要な技術です。主に半導体製造やMEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）デバイスの製造に使用されます。この技術を理解するには、いくつかの基本的な用語とプロセスを知る必要があります。
フォトリソグラフィは、光を使って感光性材料にパターンを転写するプロセスです。以下のステップで構成されています。
1. **基板の準備**: 基板としてシリコンウェハーを使用します。表面を清掃し、汚れや不純物を取り除きます。
2. **レジスト塗布**: 感光性材料であるフォトレジストを基板に均一に塗布します。スピンコーティングと呼ばれる技術が一般的です。
3. **露光**: UV光を使用して、レジストにパターンを転写します。マスクを使って特定の部分だけを露光します。
4. **現像**: 露光後、レジストを現像液で処理し、露光された部分または未露光部分を除去します。
5. **エッチング**: 現像されたパターンを基板に転写するために、エッチングプロセスを行います。化学薬品やプラズマを使用して不要な材料を除去します。
6. **レジスト剥離**: 最後に、残ったレジストを剥がして完成です。
– **フォトレジスト**: 光に反応して化学的性質が変化する材料。露光後の現像でパターンを形成します。
– **マスク**: パターンを転写するためのフィルター。特定の形状を持ち、光を通す部分と通さない部分があります。
– **エッチング**: 基板から不要な材料を除去するプロセス。ドライエッチングとウェットエッチングがあります。
– **スピンコーティング**: 基板に均一にレジストを塗布する技術。基板を高速回転させ、レジストを薄く広げます。
– **現像液**: 露光後のレジストを処理するための化学薬品。露光された部分を除去するために使用します。
マイクロ機械技術は、様々な分野で利用されています。特に、MEMSデバイスはセンサーやアクチュエーターに広く使用されています。具体的な応用例としては、以下のようなものがあります。
– **加速度センサー**: スマートフォンや自動車に搭載され、動きを感知します。
– **圧力センサー**: 医療機器や産業機器で使用され、圧力の変化を測定します。
– **マイクロポンプ**: 薬剤の投与や液体の移動に利用されます。
フォトリソグラフィ技術は日々進化しています。特に、次世代の半導体製造においては、以下の技術が注目されています。
– **EUV（極紫外線）リソグラフィ**: より短い波長の光を使用し、微細なパターンを作成
コメント