カテゴリー

MEMS技術は、微小な機械要素と電子回路を統合した技術であり、様々な分野での応用が期待されています。本記事では、MEMS技術の基本概念や用語、実際の使い方について初心者にもわかりやすく解説します。

MEMS技術の基本概念

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）技術は、微小な機械要素と電子回路を組み合わせたシステムを指します。この技術は、センサーやアクチュエーターなど、さまざまなデバイスに応用されており、特にスマートフォンや自動車、医療機器などでその重要性が増しています。

MEMSの特徴は、非常に小型でありながら高い機能性を持つことです。これにより、従来の技術では実現できなかった新しいアプリケーションが可能となります。例えば、MEMSセンサーは、加速度や圧力、温度などの物理量を高精度で測定することができ、これを基にしたデータ解析が行われます。

MEMS技術の歴史

MEMS技術の起源は、1960年代にさかのぼります。当初は、半導体技術を用いた微細加工技術が進化し、1980年代には商業化が進みました。特に、1990年代に入ると、MEMSセンサーの需要が急増し、様々な産業での利用が広がりました。

この技術の発展により、センサーの小型化や低コスト化が進み、現在では多くのデバイスに組み込まれています。例えば、スマートフォンのジャイロセンサーや加速度センサーは、すべてMEMS技術によって実現されています。

MEMS技術の主要な用語

MEMS技術に関する主要な用語をいくつか紹介します。

1. センサー：物理量を測定するデバイス。MEMSセンサーは、加速度、圧力、温度などを測定することができます。
2. アクチュエーター：入力信号に応じて物理的な動作を行うデバイス。MEMSアクチュエーターは、音や振動を生成することができます。
3. 微細加工技術：MEMSデバイスを製造するための技術。フォトリソグラフィーやエッチングなどが含まれます。
4. インテグレーション：複数の機能を持つMEMSデバイスを一つのチップに統合すること。これにより、サイズの縮小や性能の向上が図れます。

MEMS技術の応用分野

MEMS技術は、さまざまな分野で活用されています。以下にいくつかの代表的な応用分野を紹介します。

– 自動車産業：MEMSセンサーは、エアバッグの展開や車両の安定性制御に使用されています。
– 医療機器：MEMS技術は、血糖値測定器や心拍センサーなど、医療分野での精密な測定に貢献しています。
– スマートフォン：MEMSセンサーは、画面の回転やゲームの操作に欠かせない要素です。
– 環境モニタリング：MEMS技術を用いたセンサーは、環境の変化をリアルタイムで監視することができます。